真空工程设计

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《真空工程设计》编委会

序言

前言

第1章 真空概论

1.1 真空

1.2 真空计量单位

1.3 真空区域划分

1.4 真空环境特点及其应用

第2章 真空技术的物理基础

2.1 气体基本性质

2.2 气体分子运动理论

2.3 气体中的迁移现象

2.4 气体的扩散

2.5 气体的黏滞性

2.6 气体中的热量传递

2.7 热流逸

2.8 蒸发与凝结

2.9 气体在固体中的溶解

2.10 气体在固体中的扩散

2.11 气体在固体中的渗透

2.12 气体与固体的吸附

2.13 气体从固体表面的解吸

2.14 气体中的放电现象

第3章 真空获得技术与设备

3.1 概述

3.2 机械真空泵

3.3 蒸汽流真空泵

3.4 气体捕集真空泵

3.5 国产真空泵

第4章 真空工程中制冷低温技术应用基础

4.1 概述

4.2 低温制冷技术基础概念

4.3 获得低温的方法

4.4 制冷低温工质及载冷剂

4.5 蒸气压缩循环制冷

4.6 气体液化制冷技术

4.7 气体循环低温制冷技术

4.8 制冷设备

第5章 真空度测量仪器

5.1 真空计的分类

5.2 弹性变形真空计

5.3 石英真空计

5.4 热传导真空计

5.5 热阴极电离真空计

5.6 冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计）

5.7 四极质谱计

5.8 真空质量监控仪

5.9 国产各类真空计主要技术性能

5.10 质量流量计

第6章 低温测试技术

6.1 概述

6.2 低温温度测量

6.3 低温介质液面测量

6.4 低温介质流量测量

第7章 真空与低温技术中热计算基础

7.1 热传导

7.2 低压下气体分子热传导

7.3 辐射传热

7.4 辐射换热角系数及其基本特性

7.5 对流换热

7.6 真空绝热

第8章 真空管路的流导计算

8.1 气体流量、流阻、流导的基本公式

8.2 流量单位

8.3 应用列线图和曲线计算管道串联时的流导和泵的有效抽速

8.4 气体沿管道的流动状态

8.5 黏滞流时孔的流导

8.6 分子流时孔的流导

8.7 黏滞流时管道的流导

8.8 分子流时管道的流导

8.9 分子流、黏滞流时对20℃空气，孔和管道的流导汇总

8.10 黏滞-分子流时管道的流导

8.11 以克劳辛系数计算管道流导

8.12 挡板的流导

8.13 用传输概率计算流导

8.14 分子流下复杂管路的流导和传输概率

第9章 真空系统的设计

9.1 真空系统设计原则

9.2 真空系统设计中的主要参数

9.3 真空室抽气时间计算

9.4 稳定或瞬变过程的平衡压力

9.5 细长真空室内压力分布

9.6 选泵抽速及前级泵配置

9.7 油扩散泵抽气系统

9.8 涡轮分子泵抽气系统

9.9 溅射离子泵抽气系统

9.10 低温泵抽气系统

9.11 超高真空系统设计

9.12 气冷式直排大气罗茨泵抽气系统

9.13 罗茨真空泵机组

9.14 扩散泵真空机组

第10章 真空容器设计

10.1 真空容器设计原则

10.2 真空容器强度计算

10.3 真空容器壳体壁厚计算

10.4 外压圆筒和球壳壁厚计算公式

10.5 外压圆筒体加强圈设计

10.6 容器开孔补强设计