9.4　稳定或瞬变过程的平衡压力

稳态出气过程中，恒定气体量获得的平衡压力（忽略泵的极限压力）为

（9-15a）

事实上，出气量Q随抽气时间而缓慢变化。非稳态出气时，其瞬态方程式为

（9-15b）

式中　p——真空室内压力，Pa；

        pi——时间t=0时的起始压力，Pa；

        p0——抽气机组的极限压力，Pa；

        p1——某一时刻t时的平衡压力，即出气量Q与机组有效抽速S之比，Pa；

        V——真空室容积，m3；

        S——机组的有效抽速，L/s；

        t——压力由pi到p的时间，s；

        Q——出气量，Pa.L/s。

由公式（9-15b）可知真空室的极限压力为p0+p1；

当p0≪p1，真空室内压力取决于出气，即Q/S=p1；

当p0≫p1，出气可以忽略时，真空室压力取决于泵的极限压力；

当p0和p1为同数量级时，极限压力为p0+p1。