真空工程设计
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第5章 真空度测量仪器

各种真空泵的作用是对真空系统(器件)进行抽气而达到一定的真空度(或压力)。那么真空度(压力)究竟有多高?必须采用各种真空度测量仪器即真空计直接或间接地测量真空度的高低,也就是压力的高低。

真空度测量指的是对低于大气压的气体全压的测量。因此,真空计是测量真空系统中低于大气压的所有气体总压的仪器。对于真空系统中某种气体的分压力,则需采用像四极质谱计那样的分压计来测量。

真空计包括真空规管(简称真空规)和控制线路两部分。