3.4　传统的E-T型二次电子探测器

传统E-T型二次电子探测器除了前面介绍的栅网上加几百伏的正电位，硬件上还由三个主要的部件组成，如图3.4.1所示：

图3.4.1　传统的E-T型二次电子探测器

（1）闪烁体。在洁净又无气泡的玻璃上涂覆一层P47的荧光粉（YSi2O7：Ce3+），再在荧光粉的表面上镀一层70～80nm厚的铝膜作为电极。这层铝膜一方面用作10kV或12kV高压的电极，另一方面又可作为一面理想的反光层，它既可以降低入射杂散光的干扰，又可以提高对有用信号的接收效率。工作时二次电子在高压电位的吸引下加速打到闪烁体的荧光粉上，使荧光粉发光，闪烁体把电信号转换成光信号，再借助光导管把光信号传递到光电倍增管之后又将其转换成电信号。

（2）光导管。它是由一段无气泡、无明显杂质的洁净玻璃棒做成的，它的作用是将从荧光层发出的光信号传递到光电倍增管。

（3）光电倍增管。其把接收到的光信号转换成电信号，经倍增放大后的电流能达到10μA，再经功率放大器放大后就可作为显示屏的图像调制信号。光电倍增管的增益一般在104～107，在平时的使用中高增益的能达108。

对传统E-T型二次电子探测器中的闪烁体要求是：

（1）要有合适的发光光谱，要求光谱的主峰值最好能在400nm（蓝光）附近。

（2）发光效率要尽可能高。

（3）余辉时间要尽可能短、要求小于10-8s。

（4）响应速度要尽可能快，要能与扫描电镜成像的通频带相匹配。

（5）既要寿命长，又要能经得起电子的轰击而不至于过早老化。