第三章　激发源

要产生X射线荧光就必须采用适当的激发源。如果高能光子或粒子的能量足以激发出原子内壳层中的电子，产生特征X射线，它就可以用作X射线激发源。目前常用的激发源主要是各种X射线光管，电子、质子、放射性同位素、同步辐射等也可用作激发源。

X射线光管可分为端窗和侧窗两种类型。高功率X射线光管需要水冷，50W以下的小功率X射线光管可直接由空气冷却。由于X射线光管热效应严重，还出现了一些新型X射线光管。同时常规X射线光管发散角较大，不能进行微区分析，故聚焦X射线激发源目前得到了广泛重视。以下将对这几种激发源进行一些介绍。