X射线是一种波长较短的电磁辐射,通常是指能量范围在0.1~100keV的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。X射线荧光是由物质中的组成元素受激产生的特征辐射。通过测量和分析样品产生的X射线荧光,即可获知样品中的元素组成,得到物质成分的定性和定量信息。