前言

在人类日常的生产、生活当中，要用到各种各样的材料，这些材料在环境的作用下，往往会发生各类物理、化学作用，引起材料腐蚀、磨损进而发生破坏或失效，因此人类应用各种薄膜制备技术，对材料在使用前进行表面强化或改性处理，从而在其表面获得一薄层防护膜层，以达到一定的耐腐蚀、耐磨损等作用，此外也可利用薄膜制备技术来加工制造零部件、元器件，或使材料获得一定的装饰效果。

利用各种薄膜制备技术对材料表面进行强化和改性由来已久，在古代人们就已经对钢进行淬火处理，来获得坚硬涂层。近现代以来，随着新材料的出现以及人们对材料使用性能的要求越来越高，材料表面的薄膜制备技术研究异常活跃，旧工艺不断更新，新技术、工艺相继问世。

薄膜制备技术种类繁多，涉及广泛。它的基体材料可以是金属材料、有机高聚物材料、无机非金属材料；所制备的薄膜可以由金属或合金组成，也可以由各种化合物组成；薄膜制备可以在真空或一定的气氛中进行，可以在等离子体中进行，也可以在液相中进行。

本书是编著者根据多年本科生、研究生的教学经验，结合自身多年以来的科研工作及科研成果编写而成，分别介绍了物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、硬膜及超硬膜的制备、液相中的化学电化学制备技术。在编写过程中，编者参阅一些文献资料，特向原作者表示感谢！青岛科技大学教务处、青岛科技大学材料科学与工程学院相关领导对本书编写给予了大量的支持，青岛科技大学材料科学与工程学院的张乾副教授、王宝祥副教授及于庆先老师为本书编写给予了许多具体帮助，我们谨向他们表示真诚的感谢。

由于学术水平有限，本书必然会存在诸多问题和不足，殷切希望读者批评指正。

编著者

2014年10月