第122章 三大件的解决方案

EUV光刻机的核心技术，主要由三大系统构成。

首先是EUV光源系统，这个系统负责制造光刻过程中，需要用到的特殊光线。

从第一代的UV光刻机，到第五代的EUV光刻机，光线的波长也从436nm...