3.12　试样上电流的进出关系

1845年古斯塔夫·基尔霍夫发现了基尔霍夫定律，该定律又称节点电流定律。其主要论点是在电路中任一个节点上，在某一时刻流入该节点的电流之和等于流出该节点的电流之和，即流出节点的电流等于流入节点的电流。基尔霍夫节点电流定律是电荷守恒定律在电路中的具体体现。这一定律也适用于扫描电镜中电子束流在试样上的进出关系，即取一导电良好而且既干燥、洁净、平整又有一定厚度的块状试样，当电子束对着该试样照射时，在试样上电流的进出关系也遵照直流电路中的基尔霍夫定律，其关系如图3.12.1所示。而图3.12.2是用法拉第杯测量入射电子束的电流示意图。在扫描电镜的厚试样中透射电子趋于零（即It→0），依照基尔霍夫的节点电流定律，试样中电流的进出关系的计算公式如下：

Ip=Is+Ir+Ia

式中，Ip是入射电子束流；Is是二次电子电流；Ir是背散射（反射）电子电流；Ia是吸收电流。

图3.12.1　试样上电流的进出关系

图3.12.2　用法拉第杯测量入射电子束流