2.4　扫描电镜的电子束斑

透射电子显微镜的放大倍率是物镜、中间镜和投影镜等几级透镜的逐级放大倍率的总乘积：

而扫描电镜电子束斑的缩小倍率却是聚光镜和物镜等几级透镜逐级缩小倍率的总乘积：

这里的M'是扫描电镜的电子束斑缩小的总倍率；

是扫描电镜的第1聚光镜的缩小倍率；

是扫描电镜的第2聚光镜的缩小倍率；

是扫描电镜的物镜的缩小倍率。

图2.4.1为扫描电镜的电子束斑缩小示意图。在调节放大倍率时，扫描电镜与透射电镜不同，扫描电镜不需要借助上下聚光镜等一系列放大透镜，也不会新增额外放大率的像差，只需改变扫描线圈中的驱动电流。扫描电镜调焦时也只需要改变物镜线圈中的电流值，所以其操作要比透射电镜更加简便、快捷、容易入手。但操作人员若要达到熟练程度并掌握一定的操作技能，还需要经过一段时间的实际操作和不断的学习、积累。

图2.4.1　扫描电镜的电子束斑缩小示意图