CMOS芯片结构与制造技术
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2.1 P-Well CMOS(A)

电路采用3μm设计规则,使用P-Well CMOS(A)制造技术。该电路典型元器件、制造技术及主要参数如表2-1所示。制程完成后,在硅衬底上形成CMOS芯片中的各种元器件,并使之互连,实现所设计电路,该电路或各层版图已变换为缩小的各层平面和剖面结构图形的芯片。如果所得到的工艺参数与电学参数都满足设计电路的要求,则芯片功能和电气性能都能达到设计指标。

表2-1 工艺技术和芯片中主要元器件

*表中参数:衬底电阻率为ρ,阱深/薄层电阻分别为XjPW/RSPW,场氧化层/栅氧化层/Poly氧化层厚度分别为TF-Ox/TG-Ox/TPoly-Ox,N+区薄层电阻/结深分别为RSN+/XjN+,P+区薄层电阻/结深分别为RSP+/XjP+,源漏击穿电压分别为BUDSN/BUDSP,N沟道/P沟道的有效沟道长度分别为Leffn/Leffp,铝层厚度为TAl,NMOS/PMOS阈值电压分别为UTN/UTP,N场、P场阈值电压分别为UTFN/UTFP,NMOS/PMOS的跨导分别为gn/gp,PN结漏电流为ILPN