5　设备安装

5.1　一般规定

5.1.1　设备进场应由施工单位、监理单位、建设单位代表共同验收，设备包装箱应无损坏，设备型号、规格、数量应无误，装箱清单、产品质量合格证、性能检测报告及产品说明书等随机文件、附件应齐全，进口设备还应有商检合格证明文件，并应形成验收记录。

5.1.2　在地坪上直接安装设备应符合设备厂家的固定要求。

5.1.3　在工作台上安装设备应符合下列规定：

1　安装设备的工作台应水平、平稳、牢固；

2　工作台上应铺有防静电材料并与厂房防静电接地系统有效连接。

5.1.4　设备接地系统应与厂房接地系统连接良好，需要单独接地的设备应满足设计和技术文件要求。

5.1.5　设备应根据设计要求配备电源线接口。

5.1.6　安装时安装单位应保护设备表面、工作面、密封面不被损伤、划伤。

5.1.7　设备配备气体泄漏报警装置的，安装单位应根据技术文件要求接入厂房监控系统。

5.1.8　安装单位应核查设备的氮气欠压保护、真空保护、设备急停报警等安全保护功能是否正常。

5.1.9　设备安装施工完成后，应组织进行质量检验，并应按本标准附录B表B.0.1记录。