9.2　供暖、通风与废气处理

9.2.1　供暖设计应符合现行国家标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019的有关规定。

9.2.2　洁净室内不应采用散热器供暖。

9.2.3　寒冷和严寒地区各动力站房应根据工艺要求设置值班供暖。

9.2.4　洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，均应设局部排风装置，排风罩宜为密闭式。

9.2.5　排风系统的设计应符合下列规定：

1　金属有机化合物化学气相沉积设备的尾气应设就地处理装置；

2　酸、碱排风应独立设置系统，风机的电机应按一级负荷供电；

3　工艺设备的排风系统应设置备用风机；

4　有冷凝液产生的酸、碱排风系统风管宜设置坡度和排液口，且风管系统应采取防液体渗漏措施；

5　金属有机化合物化学气相沉积设备的排风系统应采取防火、防爆措施；

6　酸、碱、硅烷排风系统的风管不应穿越防火墙或通风、空气调节机房的隔墙和楼板，当必须穿越时，不得设置熔片式防火阀；

7　酸、碱排风系统的风机应设在废气处理设备的下风侧；

8　工艺设备的排风温度高于60℃时，排风管应设保温措施；

9　工艺设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件设置防结露保温措施；

10　洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。

9.2.6　废气处理系统的设计，应符合下列规定：

1　酸、碱废气不得采用固定床吸附剂方式处理；

2　酸、碱废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层数、厚度和喷淋药液循环量应计算确定；处理设备的加药、补水和排污应采用自动方式；处理设备宜就近设置日用药箱；

3　两台及两台以上废气处理设备并联运行时，应在每台设备的入口设置电动或气动密闭风阀；

4　寒冷地区或严寒地区使用的淋洗式废气处理装置应采取防冻措施。

9.2.7　酸、碱废气经处理后应经排气筒排入大气，排气筒高度应符合环境评估报告的要求，排气筒出口处风速宜大于或等于18m/s，并应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标准》GB 16297的有关规定。

9.2.8　金属有机化合物化学气相沉积间应设置不低于12次/h的事故排风。

9.2.9　使用氢气房间的吊顶上部应设置通风换气措施，排风量宜为1次/h～2次/h，吸风口上缘至顶棚平面或屋顶的距离不应大于0.1m。

9.2.10　换鞋间应设置不低于10次/h的全室排风系统，排风口宜设置在下部；换鞋柜宜设置局部排风措施；一次更衣间宜设置不低于5次/h的全室排风系统。