经过三十年的努力，到八零年，以中科院、华清、燕大、复大、电子工业部组成的电子工业体系，能够研制芯片生产的全套核心设备，如分步投影式光刻机、离子注入机、图形发生器、掩膜精缩机、单晶炉等，都有国产货。
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