第2章　电子衍射及衍衬像分析

晶体对电子的衍射和对X射线的衍射一样，也需要满足衍射几何条件（布拉格公式）和物理条件（结构因子），获得的衍射花样对单晶体是一系列规则排列的衍射斑点，对多晶体则是同心衍射环。单晶体的衍射花样是晶体倒易平面的放大像，衍射斑点包含了晶体的结构信息，准确标定电子衍射花样是进行晶体学分析的基础。透射电子显微镜不但可以获得含有结构信息的衍射花样，还可以获得包含形貌和亚结构信息的电子显微像，借助选区电子衍射可使电子显微形貌和结构在微米范围内一一对应。此外，会聚电子束衍射还可以给出试样厚度、晶格应力、价电子分布、结构因子等信息。

衍射衬度的产生是因为试样不同区域的衍射束强度不同，衍射条件的改变或样品厚度不同会引起衍射强度的变化。为了获取显著的衍射振幅衬度并易于进行定量处理，一般采用双束近似条件下的单束成像。明场像和暗场像的获取依赖于物镜光阑的位置，只有透射束通过时得到明场像，只有衍射束通过时得到暗场像。衍衬像和晶体的厚度、取向、原子序数和晶体缺陷等因素有关，常被用于分析晶体的厚度、缺陷结构等。