第三节　X射线荧光光谱仪研制进展

在仪器研发方面，微区XRF分析光谱仪和新型能量探测器的研制发展很快，并表现出了极大的实用潜力。

首先，X射线能量探测器技术目前已取得显著进展，甚至是突破，并带来了能量色散X射线光谱仪的迅速发展。超导隧道节和微热量计的分辨率已达到或超过波长色散X射线光谱仪的分辨率，Si-PIN和硅漂移探测器（SDD）、电耦合阵列探测器（CCD）及四叶花瓣型（低能量Ge）新型探测器等已实现了商品化，不仅可获得理想的分辨率，还可获得高计数率。目前这一领域的研究受到了广泛关注。

其次，X射线毛细管聚焦技术目前在国际X射线荧光分析领域中已从研发走向实用。由于聚束毛细管XRF技术可提供无损、原位、微区分析数据和多维信息，在材料科学的研究与检测技术中具有无可替代的作用，例如硅晶片的无损检测等。目前国内在聚束毛细管研究方面，与国际同步发展，产品获得国际同行认可，是国内具有发展优势的一个研究领域。

X射线光谱仪除常规波长色散X射线光谱仪外，能量色散X射线光谱仪在最近若干年已取得了长足进步，随着探测器技术的显著进步和各种原位和现场分析的现实需求，能量色散X射线光谱仪的实用价值越来越大，其地位也日益重要。

总体来看，X射线光谱分析领域的发展特点主要表现在三方面：一是研究重点多已转至仪器与技术革新，如新型探测器和聚束毛细管光源的研究；二是特别关注分析技术的实际应用和可能揭示的因果关系，如关于生命科学及全球环境变化的相关性研究等；三是根据现时严峻的全球反恐形势和核分析技术无损检测的特点，大力开展了爆炸物、毒品等危险物品的分析识别技术研究。而单纯进行分析方法的研究已经较少，这对于我们选择今后的研究方向是值得借鉴的。