第五章　X射线荧光光谱仪

根据分光方式不同，X射线荧光光谱仪可分为波长色散和能量色散X射线荧光光谱仪两大类；根据激发方式又可细分为偏振光、同位素源、同步辐射和粒子激发X射线荧光光谱仪；根据X射线的出射、入射角度还可有全反射、掠出入射X射线荧光光谱仪等。

波长色散XRF光谱仪利用分光晶体的衍射来分离样品中的多色辐射，能量色散光谱仪则利用探测器中产生的电压脉冲和脉高分析器来分辨样品中的特征射线。以下将介绍波长色散和能量色散X射线荧光光谱仪及其他几种XRF光谱仪的主要结构和工作原理。