电子激发由于需要真空条件并存在热消散问题,故并不常用于X射线荧光分析。质子激发和同步辐射则由于具有高灵敏度和微束特性而在痕量元素和微区分析领域受到广泛关注。同步辐射需要通过加速器产生,而建设高能加速器耗资庞大,其数量有限,因此实际应用受到一些限制,主要应用于探索性研究。目前采用单束或聚束毛细管聚焦X射线作为微束光源是一个现实、可行的应用研究发展方向。